①激光精密加工的對象范圍很寬,包括幾乎所有的金屬材料和非金屬材料。而電解加工只能加工導電材料,光化學加工只適用于易腐蝕材料,等離子加工難以加工某些高熔點的材料。
②激光精密加工質量的影響因素少,加工精度高,在一般情況下均優于其它傳統的加工方法。
③從加工周期來看,電火花加工的工具電極精度要求高、損耗大,加工周期較長;電解加工的加工型腔、型面的陰極模設計工作量大,制造周期亦很長;光化學加工工序復雜;而激光精密加工操作簡單,切縫寬度方便調控,加工速度快,加工周期比其它方法均要短。
④激光精密加工屬于非接觸加工,沒有機械力,相對于電火花加工、等離子弧加工,其熱影響區和變形很小,因而能加工十分微小的零部件。